Lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis uas siv qhov kub thiab txias qhov chaw rau condense gas, tseem hu ua condensate twj tso kua mis. Lub cryopump yog lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis nrog qhov siab tshaj plaws siab tshaj plaws thiab qhov siab tshaj plaws twj tso kua mis kom tau txais lub tshuab nqus tsev huv. Nws yog dav siv nyob rau hauv kev tshawb fawb thiab zus tau tej cov semiconductors thiab integrated circuits, raws li zoo raws li molecular beam kev tshawb fawb, lub tshuab nqus tsev txheej, lub tshuab nqus tsev tsom xam cov cuab yeej, ion implanters thiab chaw simulation. cov khoom siv, thiab lwm yam.
Lub hauv paus ntsiab lus Pumping Lub cryopump yog nruab nrog lub phaj txias txias kom qis heev los ntawm cov kua helium lossis lub tub yees. Nws condenses cov pa roj thiab ua kom lub vapor siab ntawm lub condensate hauv qab lub siab kawg ntawm lub twj tso kua mis, thiaj li mus cuag cov nyhuv twj tso kua mis. Lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm cov twj tso kua mis kub yog qhov kub tsis txias, tsis kub adsorption thiab qis kub ntes. ① Tsis tshua muaj kub condensation: roj molecules condense nyob rau saum npoo ntawm lub txias phaj los yog nyob rau hauv lub condensed gas txheej, thiab lub equilibrium siab yog yeej sib npaug rau lub vapor siab ntawm lub condensate. Thaum nqus cua, qhov kub ntawm lub phaj txias yuav tsum qis dua 25K; thaum siv hydrogen, qhov kub ntawm lub phaj txias yog qis dua. Lub thickness ntawm qis-kub condensation thiab extraction condensation txheej tuaj yeem ncav cuag li 10 hli. ② Tsawg kub adsorption: Cov roj molecules yog adsorbed rau ntawm qhov chaw ntawm cov adsorbent coated ntawm lub phaj txias nrog lub thickness ntawm ib tug monolayer (10-8 cm). Qhov sib npaug siab rau adsorption yog qis dua qhov vapor siab ntawm qhov kub thiab txias. Yog hais tias lub vapor siab ntawm hydrogen yog sib npaug rau atmospheric siab ntawm 20K, qhov sib npaug siab ntawm adsorption qis dua 10-8 Pa thaum activated carbon nrog 20K absorbs hydrogen. Qhov no ua rau nws muaj peev xwm ua twj tso kua mis los ntawm cryogenic adsorption ntawm qhov kub siab dua. ③Cryogenic ntxiab: Cov roj molecules uas tsis tuaj yeem condensed ntawm qhov kub thiab txias yog faus thiab adsorbed los ntawm txheej loj hlob ntawm cov roj condensable.
Feem ntau hais lus, qhov kawg siab ntawm lub twj tso kua mis yog lub vapor siab ntawm cov roj condensed ntawm qhov kub ntawm lub phaj txias. Thaum qhov kub thiab txias yog 120K, lub vapor siab ntawm cov dej twb qis dua 10-8 Pa. Thaum qhov kub yog 20K, tshwj tsis yog rau helium, neon thiab hydrogen, lub vapor siab ntawm lwm cov pa roj kuj tseem qis dua {{3} } Pa. Txawm li cas los xij, vim qhov sib txawv ntawm qhov ntsuas kub ntawm lub thawv ntim thiab lub phaj txias txias, qhov kawg siab ntawm lub twj tso kua mis siab tshaj qhov vapor siab ntawm cov condensate. Rau lub nkoj ntawm chav tsev kub, nrog lub cryopanel ntawm 20K, qhov kawg siab ntawm lub twj tso kua mis yog hais txog 4 npaug ntawm vapor siab ntawm condensate.