Cryopumps kuj tau siv dav hauv lub neej niaj hnub no. Ntau tus neeg yuav tsis tau hnov txog cryopumps. Cryopumps yog ib hom ntawm lub tshuab nqus tsev twj uas siv qhov kub thiab txias ntawm qhov chaw condensation gas. Qhov zoo dua yog tias cov twj tso kua mis yog qhov loj tshaj plaws. Niaj hnub no, cia peb saib cov twj tso kua mis cryogenic li cas lub twj tso kua mis ua haujlwm.
Lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev ua haujlwm ntawm cryopump yog siv cov roj rau lub cev adsorb ntawm qhov kub thiab txias txias kom ua tiav cov txiaj ntsig ntawm kev ua pa. Nws yog ib txoj hauv kev zoo thiab nrawm kom tau txais lub tshuab nqus tsev huv.
Lub cryopump tuaj yeem ncav cuag lub tshuab nqus tsev siab heev (10-11Pa), thiab muaj qhov zoo ntawm cov pa tawm nrawm, tsis muaj roj thiab tsis muaj kev txwv kev teeb tsa.
Nyob rau hauv thawj theem txias ntawm lub cryopump, ib tug shielding npog thiab baffle yog teem, thiab kub yog khaws cia ntawm 80K. Qhov thib ob theem cua txias tau khaws cia ntawm 15K, thiab lub npog cryogenic thiab cov pa roj carbon activated tau teeb tsa rau nws.
Dej vapor yog solidified ntawm 80K ntaub thaiv npog thiab 80K baffle; nitrogen, oxygen thiab argon yog solidified ntawm 15K cryogenic npog; hydrogen, helium thiab neon yog adsorbed ntawm cov adsorbent hauv 15K cryogenic npog. Lub cryopump tuaj yeem tso tag nrho cov pa roj, tab sis yog tias cov pa adsorbed ntau dhau lawm, qhov tso pa tawm yuav raug txo. Nyob rau hauv rooj plaub no, nws yog ib qhov tsim nyog los ua kom sov lub cryopump, tso cov pa adsorbed, thiab siv nws dua.
Cryopump nta
Cryopump yog lub tshuab nqus tsev vacuum uas siv qhov kub thiab txias ntawm qhov chaw kom cov roj condense, tseem hu ua lub twj tso kua mis condensate. Lub cryopump tuaj yeem tau txais lub tshuab nqus tsev uas muaj qhov siab tshaj plaws thiab qhov siab tshaj plaws siab tshaj plaws, thiab tau siv dav hauv kev tshawb fawb thiab tsim cov khoom siv hluav taws xob thiab cov hluav taws xob sib txuas, nrog rau kev tshawb fawb molecular beam, cov cuab yeej nqus tsev, lub tshuab nqus tsev tsom xam, ion implanters thiab chaw simulation li, thiab lwm yam.
Lub cryopump yog lub tshuab nqus tsev vacuum uas siv cov nyhuv condensation ntawm qhov chaw txias txias (tsawg dua lossis sib npaug li 77K) kom tshem tawm cov pa tawm ntawm lub cev. Txij li thaum xyoo 1960, kev siv lub tshuab nqus tsev cryogenic tau siv ntau dua thiab siv ntau dua hauv kev nrhiav thiab siv lub tshuab nqus tsev.
Cryopump yog lub tshuab nqus tsev huv. Vim tias qhov nruab nrab cryogenic tsuas yog ib lub tub yees uas ua kom lub qhov nqus ntawm lub twj tso kua mis txias thiab khaws cia los yog ncig hauv lub thawv kaw, nws tsis muaj kev sib cuag nrog lub tshuab nqus tsev. Cov yam ntxwv no yog qhov tseem ceeb rau qee lub tshuab nqus tsev uas xav tau lub tshuab nqus tsev huv, tsis muaj roj.
Cryopumps tuaj yeem ua tiav qhov siab qis ib nrab thiab siab twj tso kua mis rau feem ntau cov pa roj. Thaum lub cryopump ua haujlwm hauv cov kua helium nruab nrab, nws kuj muaj qhov zoo ntawm qhov muaj peev xwm siv tau zoo thiab tsis xaiv cov twj tso kua mis (tshwj tsis yog helium).
Cryopumps ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tshawb fawb thiab tsim cov khoom siv hluav taws xob thiab kev sib txuas ua ke, kev tshawb fawb molecular beam thiab lwm yam haujlwm. Nws yog lub tshuab nqus tsev huv. Cov saum toj no yog txhua yam hais txog kev ua haujlwm ntawm cryopumps.